図②のように電極間に比誘電率 ɛr の絶縁体を入れると
静電容量は初めの ɛr 倍になります。

図③のように平行金属板の間隔ｄを一定にして
厚さｔの測定物を電極間に入れると
厚さｔに応じて静電容量が変化します。

実例として標準電極（検出面積φ20）間隔ｄ＝11mmに
1～10mmのアクリル板を挿入し、測定した結果を下表
に示します。
電極間隔ｄ＝1mmでは、弊社の最高検出感度10-3pF/の
静電容量変換器を用いれば0.05μmの分解能も可能です。
尚、測定物厚みの非直線性は補正を行うことにより直線
性が可能です。